渗氮多用炉的操作要点
1、抽真空。接通总电源,关闭蝶阀,起动真空泵,缓慢打开蝶阀,以避免发生喷油现象,抽真空至很小真空度。
2、向炉内通少量氨气或氨分解气,冲洗炉体几分钟。在真空度为67Pa左右时,可对炉内输入400~500V高压电流电,使工件起辉,对工件打散弧以活化工件表面。
3、在30~ 60min内使辉光稳定,逐步减少限流电阻或降低灭弧灵敏度。
4、按工艺调整真空度、电压、电流、气体流量等参数。真空度应通过调整流量计和蝶阀来进行,使抽气速率平稳。
5、升温过程中要注意经常观察炉内工作情况,如出现打弧或局部温度过高等现象时,要及时调整各项参数,降低电压,以降低升温速度,或暂停供气。
6、通冷却水,炉体温度应控制在40~60℃。
7、在保温阶段,所需的电流密度小于升温时所需的电流密度,真空度为267~800Pa,辉光层厚度一般为1.5~3mm。保温期间应稳定气体流量和抽气率,以稳定炉内气压,也应随时观察炉内工作状况,发现情况及时处理。
8、保温结束后即可降温。先停止供气,关闭气源、电磁阀;然后停止供电:调低电压,切断高压电源,将有关旋钮、开关及手柄复位。
9、将炉内抽至很小真空度,关闭蝶阀,停止真空泵。
10、根据工艺需要、工件复杂程度及变形要求等实际情况,控制冷却速度。方法是:若要降低冷却速度,可以停止向炉内供气,停止抽气,以小电流维持弱辉光,待工件温度降至300℃以下时再加快冷却速度。若要加快冷却速度,可以关掉高压,继续送气、抽气,加大冷却水量。
11、设备完全冷却后停止冷却水。工件温度降至150℃以下时,即可打开放气阀向炉内充气,充气结束后再起吊出炉。